PMT ミニマル ファウンドリ English
ミニマル マスクレス露光装置
半導体製造の未来へ

半導体の製造工程に革新をもたらしたミニマルファブ構想。

国立研究開発法人 産業技術総合研究所(産総研つくば)主導で進められているプロジェクトの一員として、私たちはミニマル マスクレス露光装置の研究開発に携わっています。

特長

従来、半導体を製造するにはフォトマスクの製作に莫大な費用と時間、そして広大な設備が必要とされていました。

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DMD

縮小レンズ

露光パターン

光源

(LED)

ミニマル マスクレス露光装置はDMD(Digital Micromirror Device)によるウェハへの直接描画を行うことで、フォトマスクの製作が不要になり、試作プロセスのターンアラウンドタイム短縮に大きく貢献します。

標準露光モード

(分解能:0.5µm)

ファイン露光モード

(分解能:0.1µm)

また、必要に応じて滑らかな描画を行うファイン露光モードも搭載。

速さか、滑らかさか、用途に応じてお選びいただけます。

ミニマル ファウンドリとは

ミニマル装置群と既存のメガファブ成膜装置(外注)とのハイブリッドプロセスにより、1チップからの試作受託サービスを行います。

フォトマスクが製作不要なことに加え、右図のようにミニマル装置群を並べて設置できるので、試作開発期間の短縮とコスト削減に大きく貢献します。

▶PMT本社のミニマル ファウンドリルーム

福岡県須恵町

ビジョン

私たちは、ミニマルファブによる社会的価値の創造を目指しています。

●持続的発展を目的とする受託製造サービスの提供

-バイオ・メディカルなど電子分野以外への半導体プロセスの展開

-開発途上国での半導体研究

-国内での半導体研究の加速

-日の丸半導体産業の復活

●環境への貢献

●原料・エネルギー消費最小化への貢献

これからの展望

2015年度、PMTフォトリソラインとアウトソース成膜ラインのハイブリッドプロセスで、サファイア基盤を用いたGaN青色LEDの作成に成功しました。

産総研以外のミニマルファブでデバイス作成に成功したのは初めてのことです。

お客様からの受注も始めており、今後さらにお役に立てる様、成長してまいります。

▲PMTの文字を光らせた表示デバイス

▲作成に成功したハーフインチのGaN青色LEDウェハ

〒810-0013 福岡県糟屋郡須恵町佐谷1705-1 All rights are resarved © 2015 PMT CORPORATION